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產(chǎn)品介紹：
GSL-1800X-SBC2是為掃描電鏡和電子揉針等進(jìn)行試驗(yàn)制備的設(shè)備，可進(jìn)行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射，它也可以在高純氫氣保護(hù)下進(jìn)行等離子處理。對于實(shí)驗(yàn)室此款設(shè)備是極好的鍍膜設(shè)備。
| 輸入電源 |
208 - 240VAC , 10A , 50/60 Hz, 單相 |
| 功率 |
< 2000W (包括真空泵) |
| 輸出電壓 |
(DC)AC10V 最大電流 100A （對于真空鍍膜） DC 3KV, 10mA （對于等離子濺射） |
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真空腔體
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有一玻璃鐘罩：250mm dia. x 340mm （2）玻璃處理室：玻璃罩 A:內(nèi)徑８８mm×高度１４０mm（用于真空鍍膜) 玻璃罩 B:內(nèi)徑８８mm×高度５７mm（用于等離子濺射） |
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鍍膜裝置
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對于制膜，儀器可設(shè)置三種模式： （1）一種模式專門針對于蒸發(fā)鍍膜（下方左圖）此儀器可以同時(shí)蒸鍍兩種材料，其最高溫度可以達(dá)到1800℃采用鎢絲進(jìn)行加熱（2）蒸碳鍍膜模式（下方中圖） 儀器中包括有兩組碳棒 （3）直流等離子濺射模式（下方右圖）儀器中包含有一金靶（38mm Dia x 0.2 mm t）可在本公司選購其他材質(zhì)靶材
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樣品臺(tái) |
樣品臺(tái)可以自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)（見左圖） 樣品臺(tái)尺寸：40mm 儀器上安裝有一電動(dòng)快門用于控制蒸鍍的開始與停止（見右圖）
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真空泵 |
儀器下端安裝有一機(jī)械泵和分子泵 抽速:600L/S 真空度: 10-6 torr 設(shè)備工作環(huán)境溫度:< 32°C |
| 控制面板 |
在控制面板上可以選擇鍍膜模式，調(diào)節(jié)濺射電流和蒸發(fā)功率
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| 外型尺寸 |
L800mm× W560mm× H1340mm |
| 凈重 | 150 kg |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
